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膜厚测量仪

商品分类描述:

膜厚测量仪是一款非接触式测量设备。采用全新的超高精密运动装置驱动共焦位移传感器进行在线扫描,主要是用来测量各种薄膜厚度、导电油膜厚度、涂胶厚度、涂层厚度等。专门解决工业上膜厚测量的问题,改善工艺,提高生产效率和质量。

 

最高扫描速度可以达到50mm/s,线宽15mm。扫描速度可以达到50mm/s,先进的测量技术,专业的测量算法,±1um的高测量精度,±0.5μm的重复精度可满足您高精度测量需求。 

型号 CLS-T150
测量速度 ≤50mm/s
测量时间 ≤2秒/次
测量点间距 ≥1μm自由设置
测量精度 ±1μm
行程(X方向) 15mm-40mm(可选)
重复精度(X) ±0.5μm
量程(Z方向) 400μm/1400μm/4000μm
精度(Z) ±0.1μm/0.5μm/1μm
最小可测厚度 1μm
采样频率 100Hz-10kHz
吸合电压 24V DC
吸合时间 500ms
主机输入电 90-264V AC
主机额定功率 400W
传感器输入 24V DC 3A